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本发明提出了一种利用磁控溅射制备纳米级非晶超导薄膜的方法及产品，属于超导薄膜技术领域，该方法包括以下步骤：在氩

本发明提供一种电子束曝光剂量校正方法，根据版图图形中不同占空比的图形区域进行图形分区，各个区域分别采用邻近效应

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本发明提出了一种掺杂氧的中熵合金/金属玻璃纳米层状薄膜及其制备方法，属于金属合金薄膜技术领域，采用直流磁控溅射

本发明提供一种提升铁电场效应晶体管存储窗口的方法，该方法包括：通过调节铁电场效应晶体管的反铁电层与介电层的电容